HeptaDry | 产品优势 | 客户收益 |
| ■ 通过优化转子设计提使更低的能耗 | ■ 低运营成本 |
■ 工体油和工艺气产之间无接触 | ■ 无需经常添加或更换油品 | |
■ 在大气压下的高抽速 | ■ 抽吸速率快1循环时间短 | |
■ 耐粉尘和污染 | ■ 工艺可靠性高 |
型号 | 进气口 | 极限压力 | 抽速 50HZ | 噪音比 | 重量 | 选型 | 说明书 |
mbar | m3/h | dB(A) | kg | ||||
Hepta 100 P | DN 63 ISO-K | < 0.05 | 110 | 70 | 275 |
| 下载 |
Hepta 200 P | DN 63 ISO-K | < 0.05 | 220 | 71 | 326 | 下载 | |
Hepta 300 P | DN 63 ISO-K | < 0.05 | 320 | 72 | 330 | 下载 | |
Hepta 400 P | DN 63 ISO-K | ≤ 0.05 | 350 | 66 | 526 | ||
Hepta 630 P | DN 100 ISO-K | 1X10-2 | 630 | 70 | 550 | 下载 |
HeptaDry应用范围:锂电池,干燥,冶金 ,镀膜 , Load-Locks,电子束焊接,气体分离 ,环模。
A100 L / A200 L | 产品优势 | 客户收益 |
| ■ 性能高,循环抽吸能力强 | ■ 可通过气流量大 |
■ 紧凑、可堆垛、最优化安装 | ■ 可简单、灵活的进行系统集成 | |
■ 高能效 | ■ 运营成本低 | |
■ 静音、低振动、无油、无颗粒易于便携组装 | ■ 提高洁净室的工艺品质 |
型号 | 进气口尺寸 DN | 极限压力 hPa | 抽速 | 重量 | 资料 |
m3/h | kg | ||||
A 100 L | 50 | 6.6 X 10-3 | 100 | 100 | 说明书下载 |
A 100L ES | 50 | 7 X 10-4 | 100 | 100 | |
A 200 L | 50 | 8 X 10-3 | 200 | 100 | 说明书下载 |
A 100 L-A 200 L 应用行业:半导体,光伏,一般工业,分析仪,Load-lock 。
ADH 系列 | 产品优势 | 客户收益 |
| ■ 抽速从 600 至 4500 m3/h | ■ 提供更多选择范围 |
■ 优化的传输通道,双温度控制水冷电路和集成的 N2 吹扫 | ■ 在 H2 和 N2 中性能相当 | |
■ 低功耗和低耗水量 | ■ 同类产品中运营成本低 | |
■ 出色的抗静态和动态内应力性能 | ■ 加强易燃易爆气体(如氢气和硅烷)应用时的安全性 |
ACP 120G / ACG 600G | 产品优势 | 客户收益 |
| ■ 维护间隔长(长达四年) | ■ 维修成本低 |
■ 得益于非接触式泵体,从而实现无油和无颗粒真空 | ■ 提升工艺品质 | |
■ 高气密性马达和泵体 | ■ 对您的产品无污染 | |
■ 设计紧凑 | ■ 易于系统集成 |
型号 | 连接尺寸 DN | 极限压强 | 抽速 | 噪音比 | 重量 |
Mbar | m3/h | dBA | kg | ||
ACP 120 G | 50 | 3E-2 | 95 | < 65 | 205 |
ACG 600G | DN 100 ISO-K | 9 X 10-3 hPa | 560 | 68 | 320 |
A120G/ACG600G 应用行业:半导体,光伏,一般工业,Load-lock ,镀膜,科研,镀膜。
A4 系列 | 产品优势 | 客户收益 |
| ■ 高能效 | ■ 降低总成本 |
■ 工作温度范围宽,耐腐蚀材料 | ■ 使用寿命延长 | |
■ 抗颗粒性高 | ■ 更广泛的应用范围 | |
■ 扩展传感监测功能 | ■ 更好地控制泵的状况 |
型号 | A 124 H | A 604 H | A 1204 H | A 204 H | A 804 H | A 1504 H | A 1804 H |
抽速 m3/h | 110 | 560 | 1150 | 160 | 700 | 1200 | 1700 |
极限真空 | 2X10-2 | 2X10-4 | 9X10-4 | 5X10-2 | 2X10-3 | 2X10-3 | 2X10-3 |
极限真空 | 5X10-2 | 6X10-3 | 6X10-3 | 2X10-1 | 9X10-3 | 9X10-3 | 9X10-3 |
全转速最大进气气流 SLM | 80 | 60 | 55 | 150 | 100 | 100 | 70 |
最大功率 KW | 1.5 | 1.9 | 2.3 | 1.8 | 2.2 | 2.6 | 2.6 |
最大排气压力mbar | 1200 | 1200 | 1200 | 1200 | 1200 | 1200 | 1200 |
进气口 ISO-KF | DN 50 | DN 100 | DN 160 | DN 50 | DN 100 | DN 160 | DN 160 |
重量 kg | 250 | 370 | 530 | 260 | 380 | 540 | 540 |